双作用气缸，行程20~50mm，速度≤25mm/s；
连续动作60s内大于0.1μm颗粒物数量小于30，
使用工况：常温或150℃高温。
适用介质 NMP/DMSO/EKC/TMAH/醇胺类药水高压泵具有良好的耐腐性；
增压后介质压力：0-25 MPA；使用温度85℃；
压力波动性±0.5MPA；最大流量2L/min；pa add≤30ea@0.2μm。
可检测瞬时流量和累计流量检测；
流量范围0-3000mL/min；口径1/4”、3/8”；
支持流体所有液体（水、油、粘合剂、药液等）；
温度0℃（配管表面无结冰）-100℃；
树脂配管精度 ± 0.1%；金属配管精度 ± 0.3%
使用温度5-90℃，耐压1MPa，工作压力0-0.5MPa，
主体材质PTFE/PFA，环境温度10-60℃，
量范围10-1500ml/min；流量控制精度±1%
供电220 V， 网口或串口，
通讯协议ModbusTCP/IP或ModbusRTU，
参考尺寸125*420*290mm;
光强稳定性波动＜±0.5%/h，
光强衰减率4000H以上＜30%
硬件接口Ethercat(大于32轴，同步周期<2ms)，
基于PC的硬件架构(X86)，RS485/RS232（波特率115200），
CAN（Canopen接口 波特率1Mbps），
扩展模块支持数字量、模拟量、步进电机控制模块；
支持Modbus RTU / TCP；支持UDP功能；
支持文件读写功能。
需求公制和英制。
本体材质PFA，管材本体具有导电条结构，
可以传导因溶剂流动而产生的静电，
以及防止火花产生，避免火灾及其它问题。
参考电阻导电PFA段：5.3×102 Ω-cm，
绝缘PFA段：＞1018 Ω-cm，用于接地的导电带。
介质：纯水 / 药液/ 空气 / 氮气，
使用温度；5-60℃，耐压力0-0.3 Mpa；
本体材质；PFA 或 PTFE；
支持手动流量调节功能。
